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        CBN砂輪磨光片的檢測分析

        文章作者:ownpowerkefu

        發表時間:2015-12-24 16:30:29

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        [導讀:]CBN砂輪磨光片的檢測分析 CBN砂輪磨光片腐蝕A/B:經切片及研磨等機械加工后,晶片表面受加工應力而形成的損傷層,通常采用化學腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕,用混酸溶液去除損傷層,產生氟化氫、NOX和廢混酸;腐蝕B是堿性腐蝕,用氫氧化鈉溶液去除損傷層,產生廢堿液..

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        CBN砂輪磨光片的檢測分析
                
                CBN砂輪磨光片腐蝕A/B:經切片及研磨等機械加工后,晶片表面受加工應力而形成的損傷層,通常采用化學腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕,用混酸溶液去除損傷層,產生氟化氫、NOX和廢混酸;腐蝕B是堿性腐蝕,用氫氧化鈉溶液去除損傷層,產生廢堿液。本項目一部分硅片采用腐蝕A,一部分采用腐蝕B。
          磨光片分檔監測:對硅片進行損傷檢測,存在損傷的硅片重新進行腐蝕。
          CBN砂輪粗磨光片:使用一次研磨劑去除損傷層,一般去除量在10~20um。此處產生粗拋廢液。
          精磨光片:使用精磨劑改善硅片表面的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,從而的到高平坦度硅片。產生精拋廢液。
          檢測:檢查硅片是否符合要求,如不符合則從新進行拋光或RCA清洗。
          檢測:查看硅片表面是否清潔,表面如不清潔則從新刷洗,直至清潔。
          CBN砂輪包裝:將單晶硅磨光片進行包裝。

        本文由砂輪片生產廠家-東莞市華昱(卓銳)金剛石工具有限公司整理發布,如需轉載請注明來源及出處,原文地址:http://www.shanyao234.cn/news/728.htm

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